平台简介

中南大学微纳加工与器件制造平台（简称“微纳平台”）是校级大型仪器设备公共平台，是集微纳米图形制备、薄膜沉积、干法刻蚀、表征测试及封装键合为一体的高水平微纳加工实验室。平台共占地490平方米，位于中南大学潇湘校区工训中心楼A1栋东面。

本平台涵盖各类先进微纳加工设备18台(套)，主要包括：

1. 图案化设备：紫外光刻机、无掩膜光刻机、纳米压印机；

2. 微纳结构表征与操控设备：原位纳米机电加工系统（含扫描电子显微镜(SEM)、聚焦离子束刻蚀(FIB)、能谱分析(EDS)、织构分析(EBSD)、纳米机械手操控等）；

3. 薄膜沉积设备：电子束蒸发仪、磁控溅射仪等；

4. 干法刻蚀设备：反应离子刻蚀机(RIE)、感应耦合等离子刻蚀机(ICP)、离子束刻蚀机(IBE)等；

5. 封测设备：划片机、引线压焊机等。

本平台超净间设置百级、千级两个洁净区域：百级区包括黄光区；千级区包括FIB区、薄膜沉积区、刻蚀/封测区、清洗间、预留间、更衣区等。并配备了厂务设备机房、供气间、灰区、排烟机房、配电间。

平台人员及分工

微纳加工与器件制造平台平面结构图